测量范围
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露点-80~+20℃(支持ppmv等)
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露点精度
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±0.5℃(当露点温度低于0℃,传感器输出为霜点)
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重 复 性
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±0.5℃
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气体流量
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SF6调节在0.5~0.9L/min
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SF6纯度
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测量范围
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0~100% SF6
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精度和重复性
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±0.5%,与流量无关
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SF6分解产物
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H2S
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1~200ppm
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SO2
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1~100ppm
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HF
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0~10ppm
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精度
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±1ppm
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